सुरक्षात्मक कोटिंग क्षेत्र में परमाणु परत का जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह |
| सुरक्षात्मक आवरण | संक्षारण प्रतिरोधी कोटिंग |
| सील कोटिंग |
काम करने का सिद्धांत
एक पारंपरिक सीवीडी प्रक्रिया में, गैस-चरण के अग्रदूत लगातार या कम से कम आंशिक रूप से प्रतिक्रिया करेंगे।एएलडी में
प्रक्रिया,हालाँकि, प्रतिक्रियाएँ केवल सब्सट्रेट सतह पर होती हैं।यह एक चक्रीय प्रक्रिया है जिसमें कई शामिल हैं
आंशिक प्रतिक्रियाएं,अर्थात्, सब्सट्रेट क्रम में अग्रदूतों के साथ संपर्क करता है और अतुल्यकालिक रूप से प्रतिक्रिया करता है।किसी पर
दिया गया समय, के केवल हिस्सेप्रतिक्रियाएं सब्सट्रेट सतह पर होती हैं।प्रतिक्रिया के ये विभिन्न चरण आत्म-सीमित हैं,
वह है, यौगिकों परसतह से ही तैयार किया जा सकता हैफिल्म के विकास के लिए उपयुक्त अग्रदूत।आंशिक प्रतिक्रियाएँ
पूर्ण हो जाते हैं जबसहज प्रतिक्रियाएँ अब नहीं होती हैं।प्रक्रियाकक्ष को शुद्ध और/या खाली कर दिया जाएगा
बीच अक्रिय गैस द्वाराविभिन्नउत्पन्न सभी प्रदूषकों को हटाने के लिए प्रतिक्रिया चरणअग्रदूत अणुओं द्वारा
पिछली प्रक्रियाएँ।
विशेषताएँ
| नमूना | एएलडी-पीसी-एक्स-एक्स |
| कोटिंग फिल्म प्रणाली | अल2हे3,TiO2,ZnO, आदि |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ (अनुकूलन योग्य) |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार | आंतरिक व्यास: 1200 मिमी, ऊँचाई: 500 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| वैक्यूम चैम्बर संरचना | ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥0.15 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ± 0.1 एनएम |
| कोटिंग का आकार | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², आदि |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤±0.5% |
| अग्रदूत और वाहक गैस | ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम, टाइटेनियम टेट्राक्लोराइड, डायथाइल जिंक, शुद्ध पानी, |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग के नमूने
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने का संचालन होने के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
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