माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम उद्योग में परमाणु परत का जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह |
|
माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) |
विरोधी पहनने कोटिंग |
| विरोधी आसंजन कोटिंग | |
| चिकनाई कोटिंग |
काम करने का सिद्धांत
प्रत्येक प्रक्रिया चक्र में एक एकल परमाणु परत जमा की जाएगी।कोटिंग प्रक्रिया आमतौर पर प्रतिक्रिया में होती है
कक्ष, और प्रक्रिया गैसों को क्रमिक रूप से इंजेक्ट किया जाता है।वैकल्पिक रूप से, सब्सट्रेट को दो के बीच स्थानांतरित किया जा सकता है
प्रक्रिया का एहसास करने के लिए विभिन्न अग्रदूतों (स्थानिक ALD) से भरे क्षेत्र।पूरी प्रक्रिया, सभी प्रतिक्रियाओं सहित
और पर्जिंग ऑपरेशन, वांछित फिल्म मोटाई का एहसास होने तक बार-बार दोहराया जाएगा।विशिष्ट
प्रारंभिक चरण की स्थिति सब्सट्रेट की सतह के गुणों से निर्धारित होती है, और फिर फिल्म की मोटाई बढ़ जाएगी
लगातार प्रतिक्रिया चक्र संख्या में वृद्धि के साथ। अब तक, फिल्म की मोटाई को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
विशेषताएँ
| नमूना | एएलडी-एमईएमएस-एक्स-एक्स |
| कोटिंग फिल्म प्रणाली | अल2हे3,TiO2,ZnO, आदि |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ (अनुकूलन योग्य) |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार |
आंतरिक व्यास: 1200 मिमी, ऊँचाई: 500 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| वैक्यूम चैम्बर संरचना | ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥0.15 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ± 0.1 एनएम |
| कोटिंग का आकार | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², आदि |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤±0.5% |
| अग्रदूत और वाहक गैस |
ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम, टाइटेनियम टेट्राक्लोराइड, डायथाइल जिंक, शुद्ध पानी, |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग के नमूने
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने का संचालन होने के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
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