उत्प्रेरक उद्योग में परमाणु परत का जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह |
| उत्प्रेरक |
ऑक्साइड उत्प्रेरक |
| धातु उत्प्रेरक |
काम करने का सिद्धांत
परमाणु परत जमाव (ALD) तकनीक, जिसे परमाणु परत एपिटॉक्सी (ALE) तकनीक के रूप में भी जाना जाता है, एक रसायन है
भापपतली परतआदेशित और सतह स्व-संतृप्त प्रतिक्रिया के आधार पर निक्षेपण तकनीक।ALD में लगाया जाता है
सेमीकंडक्टरखेत।जैसामूर का कानून लगातार विकसित होता है और सुविधा के आकार और नक़्क़ाशीदार खांचे एकीकृत होते हैं
सर्किट हो गए हैंलगातारलघुकरण, छोटे और छोटे नक़्क़ाशीदार खांचे गंभीर ला रहे हैं
कोटिंग के लिए चुनौतियांतकनीकीखांचे और उनकी साइड की दीवारें।पारंपरिक पीवीडी और सीवीडी प्रक्रिया रही है
आवश्यकताओं को पूरा करने में असमर्थश्रेष्ठ कासंकीर्ण रेखा-चौड़ाई के तहत चरण कवरेज।ALD तकनीक एक खेल रही है
अर्धचालक उद्योग में तेजी से महत्वपूर्ण भूमिकाअपने उत्कृष्ट आकार-रखरखाव, एकरूपता और उच्च चरण के कारण
कवरेज।
विशेषताएँ
| नमूना |
एएलडी-सीएक्स-एक्स |
| कोटिंग फिल्म प्रणाली | अल2हे3,TiO2,ZnO, आदि |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ (अनुकूलन योग्य) |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार |
आंतरिक व्यास: 1200 मिमी, ऊँचाई: 500 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| वैक्यूम चैम्बर संरचना | ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥0.15 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ± 0.1 एनएम |
| कोटिंग का आकार | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², आदि |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤±0.5% |
| अग्रदूत और वाहक गैस |
ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम, टाइटेनियम टेट्राक्लोराइड, डायथाइल जिंक, शुद्ध पानी, |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग के नमूने
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने का संचालन होने के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
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