नैनोसंरचना और पैटर्न उद्योग में परमाणु परत का जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह |
| नैनोस्ट्रक्चर और पैटर्न |
टेम्प्लेट-असिस्टेड नैनोस्ट्रक्चर |
| उत्प्रेरक-सहायता प्राप्त नैनोसंरचना | |
| नैनोपैटर्न तैयार करने के लिए रेगियोसेलेक्टिव एएलडी |
काम करने का सिद्धांत
परमाणु परत जमाव गैसीय चरण अग्रदूतों को वैकल्पिक रूप से स्पंदित करके फिल्म बनाने की एक विधि है
प्रतिक्रिया कक्ष में और जमा सब्सट्रेट पर गैस-ठोस चरण रसायनशोधन प्रतिक्रिया का उत्पादन
सतह।जब अग्रदूतजमा किए गए सब्सट्रेट की सतह तक पहुंचें, उन्हें रासायनिक रूप से सोख लिया जाएगा
सतह और सतह प्रतिक्रियाओं का उत्पादन।
विशेषताएँ
| नमूना | एएलडी-एनपी-एक्स-एक्स |
| कोटिंग फिल्म प्रणाली | अल2हे3,TiO2,ZnO, आदि |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ (अनुकूलन योग्य) |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार |
आंतरिक व्यास: 1200 मिमी, ऊँचाई: 500 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| वैक्यूम चैम्बर संरचना | ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥0.15 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ± 0.1 एनएम |
| कोटिंग का आकार | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², आदि |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤±0.5% |
| अग्रदूत और वाहक गैस |
ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम, टाइटेनियम टेट्राक्लोराइड, डायथाइल जिंक, शुद्ध पानी, |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग के नमूने
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने का संचालन होने के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
हमारे फायदे
हम निर्माता हैं।
परिपक्व प्रक्रिया।
24 कार्य घंटों के भीतर उत्तर दें।
हमारा आईएसओ प्रमाणन
हमारे पेटेंट के हिस्से
हमारे पुरस्कारों के हिस्से और अनुसंधान एवं विकास की योग्यताएं
हमारे उत्पाद पूरी दुनिया में बेचे जाते हैं। आप हमारे उत्पादों की पूरी प्रक्रिया के बारे में निश्चिंत हो सकते हैं।
