सेंसर उद्योग में परमाणु परत का जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह |
|
सेंसर |
गैस सेंसर |
| आर्द्रता संवेदक | |
| बायोसेंसर |
काम करने का सिद्धांत
एक बुनियादी परमाणु परत जमाव चक्र में चार चरण होते हैं:
1. पहले अग्रदूत को सब्सट्रेट सतह पर निर्देशित किया जाएगा, और रासायनिक अवशोषण प्रक्रिया स्वचालित रूप से होगी
समाप्तजब सतह संतृप्त होती है;
2. अक्रिय गैसें Ar या N2 और उप-उत्पाद, अतिरिक्त पहले अग्रदूत को दूर भगाते हैं;
3. दूसरा अग्रदूत इंजेक्ट किया जाता है और सब्सट्रेट सतह पर रसायनयुक्त पहले अग्रदूत के साथ प्रतिक्रिया करता है
इससेवांछित फिल्म।प्रतिक्रिया प्रक्रिया को तब तक समाप्त कर दिया जाता है जब तक कि पहले अग्रदूत की प्रतिक्रिया पर adsorbed नहीं हो जाता
सब्सट्रेट सतहबन चूका है।दूसरा अग्रदूत इंजेक्ट किया जाता है, और अतिरिक्त अग्रदूत को प्रवाहित किया जाता है
दूर;
4. अक्रिय गैसें जैसे कि Ar या N2 और उप-उत्पाद।
इस प्रतिक्रिया प्रक्रिया को एक चक्र कहा जाता है: पहले अग्रदूत का इंजेक्शन और फ्लशिंग, इंजेक्शन और फ्लशिंग
दूसराअग्रदूत।एक चक्र के लिए आवश्यक समय पहले और दूसरे अग्रदूतों के इंजेक्शन समय का योग है
प्लस दोनिस्तब्धता बार।इसलिए, कुल प्रतिक्रिया समय चक्र समय से गुणा किए गए चक्रों की संख्या है।
विशेषताएँ
| नमूना | एएलडी-सेन-एक्स-एक्स |
| कोटिंग फिल्म प्रणाली | अल2हे3,TiO2,ZnO, आदि |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ (अनुकूलन योग्य) |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार |
आंतरिक व्यास: 1200 मिमी, ऊँचाई: 500 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| वैक्यूम चैम्बर संरचना | ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥0.15 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ± 0.1 एनएम |
| कोटिंग का आकार | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², आदि |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤±0.5% |
| अग्रदूत और वाहक गैस |
ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम, टाइटेनियम टेट्राक्लोराइड, डायथाइल जिंक,शुद्ध जल, |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग के नमूने
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने के संचालन के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें iएस
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
हमारे फायदे
हम निर्माता हैं।
परिपक्व प्रक्रिया।
24 कार्य घंटों के भीतर उत्तर दें।
हमारा आईएसओ प्रमाणन
हमारे पेटेंट के हिस्से
हमारे पुरस्कारों के हिस्से और अनुसंधान एवं विकास की योग्यताएं
हमारे उत्पाद पूरी दुनिया में बेचे जाते हैं। आप हमारे उत्पादों की पूरी प्रक्रिया के बारे में निश्चिंत हो सकते हैं।
