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Ф600 मिमी बड़े एपर्चर लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली क्षैतिज
सतह के आकार के लिए Ф500 मिमी बड़ा एपर्चर क्षैतिज लेजर इंटरफेरोमीटर सिस्टम
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लेजर इंटरफेरोमीटर गोलाकार लेंस अनुकूलित
मानक लेजर इंटरफेरोमीटर लेंस अनुकूलन योग्य 4 इंच एपर्चर
Ф100 मिमी क्षैतिज क्षेत्र इंटरफेरोमीटर यांत्रिक चरण स्थानांतरण
Ф60 मिमी क्षैतिज क्षेत्र लेजर इंटरफेरोमीटर सिस्टम 1024x1024 पिक्सेल
क्षैतिज विन्यास क्षेत्र लेजर इंटरफेरोमीटर सिस्टम Ф150 मिमी
ऑप्टिकल प्रक्रिया में स्फेयर लेजर इंटरफेरोमीटर सिस्टम
FPD और चिप के उपयोग के लिए ग्राइंडिंग पॉलिशिंग क्वार्ट्ज़ फोटोमास्क सबस्ट्रेट
ढांकता हुआ फिल्म्स ऑप्टिकल कोटिंग उपकरण Ar N2 O2 PVD मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन
ऑपरेटिंग वेवलेंथ 633 Nm ऑप्टिकल टेस्टिंग इक्विपमेंट फ्लैटनेस टेस्टर
स्क्रैच डस्ट ऑप्टिकल टेस्टिंग इक्विपमेंट सेमीकंडक्टर सरफेस डिटेक्टर 1.8μM
स्ट्रेस मैग्नीट्यूड बाइरेफ्रिंजेंस मेजरमेंट सिस्टम ऑप्टिकल टेस्टिंग इक्विपमेंट रियल टाइम
ZEIT ऑप्टिकल टेस्टिंग इक्विपमेंट लैम्प रिफ्लेक्टर शेप वेफर फ्लैटनेस सरफेस डिफेक्ट डिटेक्शन
धातु अवयव फ्लैटनेस निरीक्षण उपकरण उच्च परिशुद्धता ऑप्टिकल फ्लैटनेस परीक्षक
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