चिकित्सा उपचार उद्योग में मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह | सामग्री के प्रकार |
| चिकित्सा उपचार | जैव संगत सामग्री | अल2हे3, टीआईओ2 |
काम करने का सिद्धांत
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का मूल सिद्धांत यह है कि इलेक्ट्रॉन उड़ने की प्रक्रिया में आर्गन परमाणुओं से टकराते हैं
विद्युत क्षेत्र की कार्रवाई के तहत सब्सट्रेट, उत्पादित आर्गन आयन लक्ष्य सतह पर बमबारी करते हैं।ऊर्जा के बाद
लेन देन,लक्ष्य सतह पर परमाणु मूल जालक से निकल जाते हैंऔर सब्सट्रेट में स्थानांतरित कर दिया जाता है
फिल्म बनाने के लिए सतह।
विशेषताएँ
| नमूना | एमएससी-एमटी-एक्स-एक्स |
| कोटिंग प्रकार | धातु फिल्म, धातु ऑक्साइड और एआईएन जैसी विभिन्न ढांकता हुआ फिल्में |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ तक |
| कोटिंग वैक्यूमकक्ष सीज़ी | 700 मिमी * 750 मिमी * 700 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥ 10 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ≤ ± 3% |
| अधिकतम कोटिंग आकार | ≥ 100 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤ ± 0.5% |
| सब्सट्रेट वाहक | ग्रहीय घूर्णन तंत्र के साथ |
| लक्ष्य सामग्री | 4×4 इंच (4 इंच और नीचे के साथ संगत) |
| बिजली की आपूर्ति | बिजली की आपूर्ति जैसे डीसी, पल्स, आरएफ, आईएफ और पूर्वाग्रह वैकल्पिक हैं |
| प्रक्रिया गैस | एआर, एन2, ओ2 |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग नमूना
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ मोटे तौर पर वैक्यूम करें;
→ आणविक पंप चालू करें, शीर्ष गति पर वैक्यूम करें, फिर क्रांति और रोटेशन चालू करें;
→ निर्वात कक्ष को तब तक गर्म करना जब तक कि तापमान लक्ष्य तक न पहुँच जाए;
→ निरंतर तापमान नियंत्रण लागू करें;
→ स्वच्छ तत्व;
→ घूमना और मूल में वापस आना;
→ प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार कोटिंग फिल्म;
→ कम तापमान और कोटिंग के बाद पंप असेंबली बंद करो;
→ स्वचालित संचालन समाप्त होने पर काम करना बंद कर दें;
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