प्रकाशिकी उद्योग में मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग जमाव
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह | सामग्री के प्रकार |
| प्रकाशिकी |
ऑप्टिकल फिल्में जैसे कि एंटीरिफ्लेक्शन फिल्म, |
एसआईओ2, टीआईओ2, ता2हे5, ZrO2, एचएफओ2 |
| कम उत्सर्जन वाला ग्लास |
धातु की कई परतें (चांदी, तांबा, टिन, आदि) |
|
| पारदर्शी कंडक्टिंग ग्लास | जेडएनओ: अल, आदि |
काम करने का सिद्धांत
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की विशेषताएं उच्च फिल्म बनाने की दर, कम सब्सट्रेट तापमान, अच्छा फिल्म आसंजन हैं
और वसूली योग्य बड़े क्षेत्र कोटिंग।इस तकनीक को डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग और आरएफ मैग्नेट्रॉन में विभाजित किया जा सकता है
स्पटरिंग।
विशेषताएं
| आदर्श | एमएससी-ओएक्स-एक्स |
| कोटिंग प्रकार | धातु फिल्म, धातु ऑक्साइड और एआईएन जैसी विभिन्न ढांकता हुआ फिल्में |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ तक |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार | 700 मिमी * 750 मिमी * 700 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥ 10 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ≤ ± 3% |
| अधिकतम कोटिंग आकार | ≥ 100 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤ ± 0.5% |
| सब्सट्रेट वाहक | ग्रहीय घूर्णन तंत्र के साथ |
| लक्ष्य सामग्री | 4×4 इंच (4 इंच और नीचे के साथ संगत) |
| बिजली की आपूर्ति | बिजली की आपूर्ति जैसे डीसी, पल्स, आरएफ, आईएफ और पूर्वाग्रह वैकल्पिक हैं |
| प्रक्रिया गैस | एआर, एन2, ओ2 |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग नमूना
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ उच्च और निम्न तापमान पर निर्वात कक्ष को वैक्यूम करें, और सब्सट्रेट को समकालिक रूप से घुमाएं;
→ प्रारंभ कोटिंग: सब्सट्रेट को अनुक्रम में और एक साथ प्रतिक्रिया के बिना अग्रदूत के साथ संपर्क किया जाता है;
→ प्रत्येक प्रतिक्रिया के बाद इसे उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन गैस से शुद्ध करें;
→ फिल्म की मोटाई मानक तक होने और शुद्ध करने और ठंडा करने का संचालन होने के बाद सब्सट्रेट को घुमाना बंद करें
पूरा हो गया है, फिर वैक्यूम ब्रेकिंग की स्थिति पूरी होने के बाद सब्सट्रेट को बाहर निकालें।
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