सेमीकंडक्टर उद्योग में मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन
अनुप्रयोग
| अनुप्रयोग | खास वज़ह | सामग्री के प्रकार |
| सेमीकंडक्टर | आईसी, एलएसआई इलेक्ट्रोड, वायरिंग फिल्म | एआई, अल-सी, अल-सी-क्यू, क्यू, एयू, पीटी, पीडी, एजी |
| वीएलएसआई मेमोरी इलेक्ट्रोड | मो, डब्ल्यू, टीआई | |
| डिफ्यूजन बैरियर फिल्म | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| चिपकने वाली फिल्म | PZT (पंजाब-ZrO2-टीआई), टीआई, डब्ल्यू |
काम करने का सिद्धांत
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सिद्धांत: विद्युत क्षेत्र की क्रिया के तहत, इलेक्ट्रॉन प्रक्रिया में आर्गन परमाणुओं से टकराते हैं
उच्च गति से सब्सट्रेट के लिए उड़ान भरना, बहुत सारे आर्गन आयनों और इलेक्ट्रॉनों को आयनित करना, और फिर इलेक्ट्रॉनों के लिए उड़ान भरना
सब्सट्रेट।आर्गन आयन विद्युत क्षेत्र की कार्रवाई के तहत उच्च गति से लक्ष्य पर बमबारी करते हैं, जिससे बहुत सारे लक्ष्य बिखर जाते हैं
परमाणु, फिर तटस्थ लक्ष्य परमाणु (या अणु) फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट पर जमा होते हैं।
विशेषताएँ
| नमूना | एमएससी-एसईएम-एक्स-एक्स |
| कोटिंग प्रकार | धातु फिल्म, धातु ऑक्साइड और एआईएन जैसी विभिन्न ढांकता हुआ फिल्में |
| कोटिंग तापमान रेंज | सामान्य तापमान 500 ℃ तक |
| कोटिंग वैक्यूम चैम्बर आकार | 700 मिमी * 750 मिमी * 700 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| पृष्ठभूमि निर्वात | <5 × 10-7मिलीबार |
| परत की मोटाई | ≥ 10 एनएम |
| मोटाई नियंत्रण परिशुद्धता | ≤ ± 3% |
| अधिकतम कोटिंग आकार | ≥ 100 मिमी (अनुकूलन योग्य) |
| फिल्म मोटाई एकरूपता | ≤ ± 0.5% |
| सब्सट्रेट वाहक | ग्रहीय घूर्णन तंत्र के साथ |
| लक्ष्य सामग्री | 4×4 इंच (4 इंच और नीचे के साथ संगत) |
| बिजली की आपूर्ति | बिजली की आपूर्ति जैसे डीसी, पल्स, आरएफ, आईएफ और पूर्वाग्रह वैकल्पिक हैं |
| प्रक्रिया गैस | एआर, एन2, ओ2 |
| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | |
कोटिंग नमूना
प्रक्रिया के चरण
→ निर्वात कक्ष में कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रखें;
→ मोटे तौर पर वैक्यूम करें;
→ आणविक पंप चालू करें, शीर्ष गति पर वैक्यूम करें, फिर क्रांति और रोटेशन चालू करें;
→ निर्वात कक्ष को तब तक गर्म करना जब तक कि तापमान लक्ष्य तक न पहुँच जाए;
→ निरंतर तापमान नियंत्रण लागू करें;
→ स्वच्छ तत्व;
→ घूमना और मूल में वापस आना;
→ प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार कोटिंग फिल्म;
→ कम तापमान और कोटिंग के बाद पंप असेंबली बंद करो;
→ स्वचालित संचालन समाप्त होने पर कार्य करना बंद कर दें।
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