सेमीकंडक्टर सरफेस डिटेक्टर सिस्टम ऑप्टिकल परीक्षण उपकरण 40x
अनुप्रयोग
अर्धचालक प्रदर्शन के क्षेत्र में रिक्त मास्क की प्रक्रिया नियंत्रण और उपज प्रबंधन के लिए और
एकीकृतसर्किट चिप निर्माण, हम तेजी से और बनाने के लिए उच्च थ्रूपुट ऑप्टिकल परीक्षण तकनीकों का उपयोग करते हैं
सटीक स्वचालितरिक्त मुखौटा के सतह दोषों का पता लगाना।पेशेवर उपयोगकर्ता की जरूरतों के अनुसार,
हमने श्रृंखला विकसित की हैविश्वसनीय गुणवत्ता और उच्च लागत के साथ उच्च थ्रूपुट MASK निरीक्षण मशीनें
प्रदर्शन अनुपात, ग्लास की मदद करने के लिएसब्सट्रेट,मास्क की पहचान और निगरानी के लिए मास्क और पैनल निर्माता
दोष, उपज के जोखिम को कम करें और सुधार करेंउनकाकोर प्रौद्योगिकियों के लिए अनुसंधान एवं विकास की स्वतंत्र क्षमता।
काम करने का सिद्धांत
सतह दोष के स्तर और प्रकार के संबंध में, 4x टेलीसेंट्रिक लेंस, विशिष्ट कोण रिंग लाइट और समाक्षीय प्रकाश
स्रोतदृश्य दृष्टिकोण के रूप में चुने गए हैं।जब डिवाइस चल रहा होता है, तो नमूना X के साथ चलता है
दिशा औरदृष्टि मॉड्यूल वाई दिशा के साथ दोष का पता लगाता है।
विशेषताएं
आदर्श | एसडीडी0.5-0.5 | |
प्रदर्शन का पता लगाना |
पता लगाने योग्य दोष प्रकार | खरोंच, धूल |
पता लगाने योग्य दोष आकार | 1μm | |
पता लगाने की सटीकता (मापा) |
दोष / संग्रह का 100% पता लगाना दोष (खरोंच, धूल) |
|
पता लगाने की दक्षता |
≤10 मिनट (मापित मूल्य: 350 मिमी x 300 मिमी मास्क) |
|
ऑप्टिकल सिस्टम प्रदर्शन |
संकल्प | 1.8μm |
बढ़ाई | 40x | |
दृश्य क्षेत्र | 0.5 मिमी x 0.5 मिमी | |
नीली रोशनी की रोशनी | 460 एनएम, 2.5 डब्ल्यू | |
मोशन प्लेटफार्म प्रदर्शन
|
एक्स, वाई दो-अक्ष गति संगमरमर काउंटरटॉप समतलता: 2.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤ 10.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤8.5μm
|
|
नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। |
पता लगाने वाली छवियां
हमारे फायदे
हम निर्माता हैं।
परिपक्व प्रक्रिया।
24 कार्य घंटों के भीतर उत्तर दें।
हमारा आईएसओ प्रमाणन
हमारे पेटेंट के हिस्से
हमारे पुरस्कारों के हिस्से और अनुसंधान एवं विकास की योग्यताएं
2018 में स्थापित ZEIT Group सटीक ऑप्टिक्स, सेमीकंडक्टर सामग्री और हाई-टेक इंटेलिजेंस उपकरणों पर केंद्रित कंपनी है।कोर और स्क्रीन की सटीक मशीनिंग, ऑप्टिकल डिटेक्शन और कोटिंग में हमारे फायदों के आधार पर, ZEIT Group हमारे ग्राहकों को अनुकूलित और मानकीकृत उत्पाद समाधानों के पूर्ण पैकेज प्रदान करता रहा है।
तकनीकी नवाचारों पर केंद्रित, ZEIT Group के पास 2022 तक 60 से अधिक घरेलू पेटेंट हैं और दुनिया भर के संस्थानों, विश्वविद्यालयों और औद्योगिक संघों के साथ बहुत करीबी उद्यम-कॉलेज-अनुसंधान सहयोग स्थापित किया है।नवाचारों, स्व-स्वामित्व वाले बौद्धिक गुणों और प्रमुख प्रक्रिया प्रायोगिक टीमों के निर्माण के माध्यम से, ZEIT समूह उच्च-तकनीकी उत्पादों को उगाने और उच्च-स्तरीय कर्मियों के लिए एक प्रशिक्षण आधार बन गया है।