ग्लास सब्सट्रेट भूतल दोष डिटेक्टर
अनुप्रयोग
ग्लास सब्सट्रेट निर्माण की प्रक्रिया नियंत्रण और उपज प्रबंधन के लिए, हम निर्माताओं को मदद कर सकते हैं
मुखौटा दोषों की पहचान और निगरानी करें, उपज के जोखिम को कम करें और आर एंड डी की अपनी स्वतंत्र क्षमता में सुधार करें
कोर प्रौद्योगिकियां।
काम करने का सिद्धांत
दिशात्मक एकत्र करने और विश्लेषण करने के लिए विशिष्ट कोण रिंग लाइट, समाक्षीय प्रकाश स्रोत और रनिंग तंत्र का उपयोग करना
फोटोग्राफी की जानकारी, इस प्रकार ग्लास सब्सट्रेट सतह पर दोषों के लिए स्वचालित पहचान को साकार करना।
विशेषताएं
आदर्श | एसडीडी-जीएस-एक्स-एक्स | |
प्रदर्शन का पता लगाना |
पता लगाने योग्य दोष प्रकार | खरोंच, धूल |
पता लगाने योग्य दोष आकार | 1μm | |
जांच सटीकता (मापा गया) |
दोष / संग्रह का 100% पता लगाना दोष (खरोंच, धूल) |
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पता लगाने की दक्षता |
≤10 मिनट (मापित मूल्य: 350 मिमी x 300 मिमी मास्क) |
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ऑप्टिकल सिस्टम प्रदर्शन |
संकल्प | 1.8μm |
बढ़ाई | 40x | |
देखने के क्षेत्र | 0.5 मिमी x 0.5 मिमी | |
नीली रोशनी की रोशनी | 460nm, 2.5w | |
मोशन प्लेटफार्म प्रदर्शनइ
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एक्स, वाई दो-अक्ष गति संगमरमर काउंटरटॉप समतलता: 2.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤ 10.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤8.5μm |
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नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। |
पता लगाने वाली छवियां
हमारे फायदे
हम निर्माता हैं।
परिपक्व प्रक्रिया।
24 कार्य घंटों के भीतर उत्तर दें।
हमारा आईएसओ प्रमाणन
हमारे पेटेंट के हिस्से
हमारे पुरस्कारों के हिस्से और अनुसंधान एवं विकास की योग्यताएं