इंटीग्रेटेड सर्किट चिप इंडस्ट्री में सरफेस डिफेक्ट डिटेक्टर
अनुप्रयोग
एकीकृत सर्किट चिप निर्माण के क्षेत्र में रिक्त मास्क की प्रक्रिया नियंत्रण और उपज प्रबंधन के लिए,
हम ग्लास सब्सट्रेट और मुखौटा निर्माताओं को मुखौटा दोषों की पहचान और निगरानी करने में मदद कर सकते हैं, जोखिम को कम कर सकते हैं
कोर प्रौद्योगिकियों के लिए अनुसंधान एवं विकास की अपनी स्वतंत्र क्षमता का उत्पादन और सुधार करना।
काम करने का सिद्धांत
मुखौटा सतह पर दोषों को स्वचालित रूप से तीन पहलुओं से पता लगाया जा सकता है: ऑप्टिक्स सिस्टम प्रदर्शन,
कैमरा प्रदर्शन और गति मंच प्रदर्शन।
विशेषताएँ
| नमूना | एसडीडी-आईसीसी-एक्स-एक्स | |
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प्रदर्शन का पता लगाना |
पता लगाने योग्य दोष प्रकार | खरोंच, धूल |
| पता लगाने योग्य दोष आकार | 1μm | |
| जांच सटीकता (मापा गया) |
दोष / संग्रह का 100% पता लगाना दोष (खरोंच, धूल) |
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| पता लगाने की दक्षता |
≤10 मिनट (मापित मूल्य: 350 मिमी x 300 मिमी मास्क) |
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ऑप्टिकल सिस्टम प्रदर्शन |
संकल्प | 1.8μm |
| बढ़ाई | 40x | |
| देखने के क्षेत्र | 0.5 मिमी x 0.5 मिमी | |
| नीली रोशनी की रोशनी | 460nm, 2.5w | |
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मोशन प्लेटफार्म प्रदर्शन
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एक्स, वाई दो-अक्ष गति संगमरमर काउंटरटॉप समतलता: 2.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤ 10.5μm वाई-अक्ष जेड-दिशा रनआउट परिशुद्धता: ≤8.5μm |
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| नोट: अनुकूलित उत्पादन उपलब्ध है। | ||
पता लगाने वाली छवियां
हमारे फायदे
हम निर्माता हैं।
परिपक्व प्रक्रिया।
24 कार्य घंटों के भीतर उत्तर दें।
हमारा आईएसओ प्रमाणन
हमारे पेटेंट के हिस्से
हमारे पुरस्कारों के हिस्से और अनुसंधान एवं विकास की योग्यताएं
हमारे उत्पाद पूरी दुनिया में बेचे जाते हैं। आप हमारे उत्पादों की पूरी प्रक्रिया के बारे में निश्चिंत हो सकते हैं।
